Abstract
<jats:p>Mazkur maqolada metalloksid yupqa plyonkalar asosida metall–dielektrik–yarimo‘tkazgich (MDY) tuzilmalarni tayyorlash texnologiyalari hamda ularning fizik xossalarini tadqiq etish masalalari ko‘rib chiqiladi. Hozirgi kunda mikroelektronika, optoelektronika va nanoteknologiya sohalarining jadal rivojlanishi yuqori sifatli yupqa plyonkali materiallar va ular asosida yaratiladigan ko‘p qatlamli tuzilmalarga bo‘lgan talabni keskin oshirmoqda. Ayniqsa, metalloksid asosidagi yupqa plyonkalar yuqori dielektrik doimiysi, termik barqarorligi, kimyoviy mustahkamligi hamda elektr xossalarining keng diapazonda boshqarilishi mumkinligi bilan ilmiy va amaliy jihatdan katta qiziqish uyg‘otmoqda.Tadqiqotda metall–dielektrik–yarimo‘tkazgich tuzilmalarning shakllanish jarayoni, ularni tayyorlashda qo‘llaniladigan zamonaviy texnologiyalar hamda plyonkaning strukturaviy, morfologik va elektr xossalariga ta’sir etuvchi omillar tahlil qilinadi. Metalloksid yupqa plyonkalarni hosil qilishda atom qatlamli cho‘ktirish, kimyoviy bug‘ fazasida cho‘ktirish, sol-gel texnologiyasi, termik oksidlanish va boshqa fizik-kimyoviy usullar keng qo‘llanilishi mumkinligi ko‘rsatib o‘tiladi. Ushbu usullar orqali olingan plyonkalar qalinligi nanometr darajasida bo‘lib, ular yuqori bir xillik, sirt tekisligi va yaxshi kristall tuzilishga ega bo‘lishi mumkin.</jats:p>