Abstract
<jats:p>Досліджено технологію прямого лазерного запису мікрорельєфних металевих структур на тонких плівках хрому як інструмент формування дифракційних та кодових оптичних елементів. Проаналізовано фізичні механізми взаємодії імпульсного лазерного випромінювання з металевими плівками в наносекундному та фемтосекундному діапазонах, зокрема процеси абляції, теплового накопичення та плазмового екранування. Визначено вплив тривалості імпульсу, частоти повторення, щільності енергії і швидкості сканування на морфологію поверхні, глибину мікроструктур і якість сформованого рельєфу. Встановлено режими експонування, що забезпечують формування висококонтрастних структур із мікронною точністю без термічного руйнування скляної підкладки. Показано можливість формування функціональних елементів без використання фотошаблонів і багатостадійних процесів хімічного травлення, що скорочує технологічний цикл виготовлення. </jats:p>