Методология и опыт создания объектов и инфраструктуры современного микроэлектронного производства

<jats:p>В сборнике статей изложен систематизированный опыт и методология по вопросам создания объектов микроэлектронного производства, соответствующих чистых комнат, а также систем подготовки технологических сред и их подключения и подачи на технологическое оборудование. Работа является коллективным трудом специалистов, практически занимавшихся указанными вопросами при создании и запуске микроэлектронного производства. Первая глава (Безгин Ф.Г., Журавлев В.Г., Картавцев В.С., Кундывус Д.С., Ранчин С.О.) описывает терминологию и алгоритм создания объектов электронной промышленности. Во второй главе (Евдокимов В.Л., Ранчин С.О.) даны основные требования к технологическим средам при изготовлении структур кремниевых микросхем. Третья глава (Просий А.Д., Яснов В.С.) посвящена вопросам создания систем очистки и контроля газовых и жидкостных технологических сред в реальном производстве. В четвертой главе (Просий А.Д., Кимрова А.П., Кузьмина Е.А., Глинский А.С.) описана методика и результаты ультра-следового анализа применяемой деионизованной воды. Пятая глава (Евдокимов В.Л., Ранчин С.О.) посвящена вопросам монтажа, подключения и испытаний линий подачи сред на технологическое оборудование. Материалы книги, издающейся в формате сборника актуальных авторских статей, носят практи- ческий и конкретный характер. Комплексно освещенные методология и практический опыт могут быть использованы при создании и модернизации объектов и систем технологического обеспече- ния современных отечественных микроэлектронных и других прецизионных лабораторий и произ- водств.</jats:p>